關(guān)于機(jī)械手臂夾持開合機(jī)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)

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摘要：隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，全自動濕制程清洗設(shè)備面臨更新?lián)Q代。在迭代過程中存在不同規(guī)格晶舟共用機(jī)械手臂的情況，這對機(jī)械手臂夾持機(jī)構(gòu)提出了更高的適應(yīng)性需求。鑒于此，對機(jī)械手臂夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，采用電動滑臺驅(qū)動引導(dǎo)塊，利用引導(dǎo)溝槽將直線行程轉(zhuǎn)化為搖臂旋轉(zhuǎn)，配合PLC及光電傳感器對電動滑臺的行程進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)末端夾持機(jī)構(gòu)對不同規(guī)格晶舟夾持的自動適應(yīng)性切換，解決了電機(jī)驅(qū)動方案夾持不對稱及氣缸驅(qū)動方案開合度單一的問題。（剩余4653字）