不同摻量YF3氟化物助劑對Si3N4顯微結(jié)構(gòu)及熱導(dǎo)率的影響

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摘 要：通過加入不同含量的YF3氟化物助劑，在1 900 ℃/1 MPa N2壓力下保溫4 h，以研究YF3含量差異對于Si3N4顯微結(jié)構(gòu)及熱導(dǎo)率的影響。結(jié)果表明，少摻量的YF3助劑對Si3N4的致密過程基本沒有影響，但能較明顯促進(jìn)晶粒的生長從而提高熱導(dǎo)率;當(dāng)加入大摻量YF3時，致密過程因?yàn)闅怏w物質(zhì)的生成及助劑本身的揮發(fā)而受到一定抑制，由此引發(fā)較多的氣孔，但因?yàn)榇髶搅縔F3組的晶粒尺寸更大，樣品最終的熱導(dǎo)率也更大，最高達(dá)到了81.88 W/（m-1·K-1）。（剩余3437字）