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摘要：共焦顯微測量是一種很有前景的技術，具有非接觸測量和高精度位移識別能力，廣泛應用在芯片加工、高精密儀器制造、生物醫(yī)學、材料化學、工業(yè)檢測等領域。其沿軸向位置高精度掃描的二維圖像可用于三維重建，然而，掃描的速度限制了圖像的采集速率，為了克服這一局限性，研究人員提出了許多方法對傳統(tǒng)的共聚焦顯微鏡系統(tǒng)進行了改進。（剩余24689字）
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共焦顯微鏡技術及其應用
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