傾斜入射下的單截面平面度絕對檢驗

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關(guān)鍵詞：光學(xué)計量;傾斜入射;平面度;絕對檢驗;二次反射棱鏡

引言

平面度是光學(xué)干涉計量領(lǐng)域中基礎(chǔ)的測量標(biāo)準(zhǔn)，國家規(guī)程規(guī)定以兩個截面上的直線度量值計算平面度，因此直線度也是國家量值傳遞體系中重要的一環(huán)[1]。傳統(tǒng)情況下使用等傾干涉儀測量標(biāo)準(zhǔn)平晶、長平晶、平面平晶的平面度誤差，其原因為等傾干涉儀可以通過干涉條紋精確地測量多點的高程差[2-4]。（剩余3104字）