鏈式熱氧化與槽式堿拋光工藝條件對PERC單晶硅太陽電池光電轉換效率的影響

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摘 要：針對PERC單晶硅太陽電池制備工藝中3合1工序的鏈式熱氧化工藝的氧化性能與槽式堿拋光工藝酸洗槽的去氧化能力的工藝窗口及匹配性進行了研究。首先設計實驗分別測試鏈式熱氧化工藝條件（包括溫度、氧氣流量）、槽式堿拋光工藝的酸洗槽液體濃度對擴散后硅片表面摻雜濃度及PERC單晶硅太陽電池光電轉換效率的影響；再根據(jù)初步實驗結果對鏈式熱氧化工藝與槽式堿拋光工藝的匹配性進行分析，得到整體3合1工序的優(yōu)化工藝方案；然后采用電化學微分電容電壓（ECV）測試擴散后硅片表面摻雜濃度及結深的變化情況，對研究結果進行了佐證，最終達到提升PERC單晶硅太陽電池光電轉換效率的目的。（剩余10434字）