“SE+PERC”單晶硅太陽電池發(fā)射極方阻均勻性提升工藝的研究

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摘 要：針對“SE+PERC”單晶硅太陽電池制備過程中，管式擴散爐擴散后硅片發(fā)射極方阻均勻性差的問題，在擴散工藝的“預沉積”步驟設計小氮氣（N2）流量、氧氣（O2）流量、爐內壓強參數(shù)變化實驗，研究小N2流量、O2流量和爐內壓強變化對發(fā)射極方阻、方阻均勻性及太陽電池電性能的影響。研究結果表明：通過調整小N2流量、O2流量及擴散過程中的爐內壓強可以有效提高發(fā)射極方阻均勻性，并提高太陽電池的光電轉換效率。（剩余10014字）