原子制造過程的可視化與原位檢測

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摘 要：原子制造是指將能量直接作用于原子，對原子進行精準可控去除、增加等操作，從而調控材料結構和性質的技術。為實現(xiàn)原子制造的精準性和可控性，跨尺度的實時觀察與檢測勢在必行。原位透射電子顯微技術不僅能在原子尺度下實時研究納米材料結構與性質之間的關系，而且可以構建原子級器件并實現(xiàn)其性能的原位檢測。簡要綜述了原位透射電子顯微技術在納米／原子精度的加工、器件構建及原位檢測方面取得的重要進展，提出了當前原位透射電子顯微技術在原子制造過程的可視化與原位檢測領域面臨的挑戰(zhàn)和未來的發(fā)展方向。（剩余10815字）