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面向多晶金剛石的等離子體高效拋光技術

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摘要 作為一種典型的難加工材料，多晶金剛石的拋光存在著材料去除率低、損傷引入較多、難以獲得亞納米級粗糙度等諸多問題。采用一種基于大氣電感耦合等離子體的非接觸式加工方法，在純氬等離子體中引入氧氣作為反應氣，激發(fā)產生高活性氧自由基，并在多晶金剛石表面不同位點處發(fā)生差異化刻蝕，最終實現(xiàn)多晶金剛石的高效拋光。（剩余19109字）

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