摩爾定律是否會在粒子加速器中找到未來？

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直線加速器可為極紫外光刻技術(shù)提供強大的動力。

英特爾、三星、臺積電以及日本即將建造的先進晶圓代工廠速芯（Rapidus）正各自為營，準備在每平方毫米的硅片中塞入越來越多的晶體管，但這些企業(yè)有一個共同點：支撐它們開展研發(fā)制造的極紫外光刻技術(shù)（EUV）極其復(fù)雜、昂貴，且運營成本極高。其主要原因在于，該系統(tǒng)所使用的13.5納米光源需要通過目前世界上最強大的商業(yè)激光器轟擊飛行中的熔融錫滴來產(chǎn)生，而后者要求高精度和高成本。（剩余4507字）