3</sub>N<sub>4</sub> 陶瓷基板薄片研磨加工性能的影響，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的數(shù)據(jù)，比較定制化240#、270#和300#粒徑尺寸的碳化硼磨粒和碳化硅磨粒在鑄鐵磨盤上快速減薄 Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> 陶瓷基板薄片時(shí)的研磨效率、表面粗糙度、TTV值、良品率、磨粒壽命、抗折強(qiáng)度和BOW值.結(jié)果表明：在保證表面粗糙度、TTV值、抗折強(qiáng)度等指標(biāo)的數(shù)據(jù)點(diǎn)全在規(guī)格線以內(nèi)時(shí)，300#碳化硼磨粒的研磨效率最佳,300#碳化硅磨粒的表面質(zhì)量最佳．為了提升產(chǎn)品加工效率，可以選擇300#碳化硼作為磨粒；為了保證產(chǎn)品有更好的質(zhì)量，可以選擇300#碳化硅作為磨粒.-龍?jiān)雌诳W(wǎng)" />

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不同粒徑磨粒對 Si3N4 陶瓷基板薄片雙面研磨性能的影響

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中圖分類號：TH16

DOI：10.19504/j.cnki.issn1671-5365.2025.06.07

引用格式：，等.不同粒徑磨粒對 Si3N4 陶瓷基板薄片雙面研磨性能的影響[J].宜賓學(xué)院學(xué)報(bào)，2025，25（6）：47-52.Citeitas：ZHAOCAOX，ENGXetal.If（剩余8470字）

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