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掃描電鏡示值誤差測量不確定度評定分析

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摘要:文中介紹了掃描電子顯微鏡的原理和應用,分析了掃描電子顯微鏡測長示值誤差的不確定度來源,包括測量重復性,測量電壓,測量距離,測量倍數(shù),圖像分辨率以及標準柵格樣板。文中以測量1μm標準柵格樣板為例,評定各個標準不確定度分量,計算合成標準不確定度和擴展不確定度,評定結果為5.4nm,小于掃描電子顯微鏡測長示值誤差計量特性1/3MPE的要求。(剩余4472字)

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