三軸滑臺是一種基于直角坐標(biāo)系的精密運動平臺，通過X、Y、Z三個相互垂直的直線運動軸的組合聯(lián)動，實現(xiàn)負(fù)載在三維空間內(nèi)的精準(zhǔn)定位與軌跡控制。其核心架構(gòu)由運動軸組件、傳動系統(tǒng)、導(dǎo)向系統(tǒng)、驅(qū)動單元以及控制系統(tǒng)五大部分構(gòu)成，各組件協(xié)同工作，共同支撐起微米級甚至納米級的運動精度。